真空チャンバの熱計算

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真空チャンバの熱計算

真空チャンバは、このような使われ方をしています

真空環境下にて半導体製造装置として使用
希薄ガス環境の試験装置
真空吸着、真空乾燥工程にて

具体的には、以下のような装置が該当します

真空タンク
イオン源製造装置
薄膜製造装置
マルチターゲット製造装置
真空加熱炉
有機ELパネル製造装置

よくつかわれる計算として以下のようなものがあります

気体の状態方程式
円筒周りの熱伝達率計算
熱力学方程式


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