真空チャンバの熱計算
2012-02-04 [記事URL]
真空チャンバは、このような使われ方をしています
真空環境下にて半導体製造装置として使用 希薄ガス環境の試験装置 真空吸着、真空乾燥工程にて
具体的には、以下のような装置が該当します
真空タンク イオン源製造装置 薄膜製造装置 マルチターゲット製造装置 真空加熱炉 有機ELパネル製造装置
よくつかわれる計算として以下のようなものがあります
気体の状態方程式 円筒周りの熱伝達率計算 熱力学方程式
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